ESCAPE (burn/wet)

Die Verbrennungs-/Wasch-Technik ist eine der effektivsten Technologien für die Abgasentsorgung mit geringen Anschaffungskosten.

UPTIMUM

UPTIMUM – Burn/Wet Technology for safe and efficient treatment of CVD process gases

UPTIMUM ist eine der führenden Technologien für die Verbrennung von Abgasen bei einer gleichzeitigen Reinigung der restlichen Stoffe. Die Anlage entsorgt bis zu 500 slm Abgase aus CVD Prozessen. Diese werden dem kombinierten Brenner-Wäscher System über maximal vier separate Schadgaseinlässe zugeführt. Anders als bei der ESCAPE-Technologie erfolgt das Brennen von oben nach unten. Ein Flüssigkeitsfilm an der Reaktorinnenwand verhindert Korrosion und die Ablagerung von Feststoffpartikeln. In der Waschkolonne, die parallel zum Reaktor angeordnet ist, werden lösliche Komponenten absorbiert und Partikel suspensiert. Depositionsgase, wie zum Beispiel SiH4, NH3 etc. und auch Kammerreinigungsgase, wie NF3, F2 oder SF6, können von UPTIMUM sicher und effizient entsorgt werden.
Die Anlage zeichnet sich durch hohe Verfügbarkeit und Behandlungseffektivität, wenig Serviceaufwand, geringen Platzbedarf, niedrige Anschaffungskosten und Netzwerkfähigkeit aus.
Es können verschiedene Brenngase eingesetzt werden.

GIANT (burn/wet)

GIANT ist ein kombiniertes Brenner-Wäscher-System für höhere Abgasmengen. Abscheidungsgase wie SiH4 und NH3 aber auch Kammer-Reinigungsgase wie NF3 oder F2 können sicher und effizient behandelt werden.

EDC -1500

Elektrostatischer Abscheider für Volumenströme bis zu 90m³/h mit partikel- bzw. aerosolbelasteten Abgasen. Der Abscheider verfügt über eine gespülte Wand und ein Selbstreinigungssystem für die Sprühelektroden. Das System reduziert wirkungsvoll das Verblocken der Abgasleitungen und kann hinter die meisten Abgasentsorgungsanlagen geschalten werden.

AQUABATE

Dieser Wäschertyp wird vor allem als POU (point of use)-Wäscher in der Halbleiterindustrie eingesetzt. Die Wäscher werden in kürzest möglichen Abständen hinter den Vakuumpumpen installiert und schützen so optimal das FAB-Absaugungssystem.

Der AQUABATE ist mit bis zu drei separaten anti-clogging Einlässen lieferbar. Die Zuleitungen zu diesen Einlässen können auf bis zu 150°C beheizt werden.

AQUABATE EPI

EPI steht für Epitaxie. Diese Wäscher sind speziell für die Entsorgung von Epitaxie-Prozessen entwickelt. Wir legen bei diesen Wäschern besonderen Wert auf hohe Sicherheitsstandards in Bezug auf das bei der Epitaxie verwendete Trägergas Wasserstoff. Nach dem Wäscher wird der Wasserstoff kontrolliert auf die untere Explosionsgrenze (UEG) verdünnt.

Monitoring

MONITORING wurde entwickelt, um die Anlage zur Abgasbehandlung bei kritischen Fertigungsverfahren für Halbleiter zu steuern. Entscheidende Voraussetzungen sind dabei die Überwachung der Betriebsanlage, die Leistungssteigerung und Verbesserungen der Wartung. MONITORING erfasst sowohl den Betriebszustand und die Prozesskenngrößen der ESCAPE-Einheiten automatisch, als auch die zentrale Laugenversorgung. Die Informationen werden in einer Datenbank gespeichert.